體積表面電阻率測試儀由電極系統、高阻計、直流高壓源、屏蔽箱及控制系統構成。核心部件為三電極結構：主電極（直徑≥50mm）、環形保護電極（間隙≤2mm）及接地電極，采用不銹鋼或鍍金工藝確保接觸阻抗＜0.1Ω。高阻計配備10^15Ω輸入阻抗的前置放大器，電流分辨率達0.1fA（10^-16A），電壓源輸出0-1000V DC，精度±0.5%+2V。屏蔽箱采用雙層電磁屏蔽設計，內部殘余噪聲＜5μV。測量時通過四線法消除引線電阻誤差，自動切換10^3-10^16Ω量程。在標準環境（23±1°C，50±5%RH）下，體積電阻率測量誤差≤±5%（10^6-10^14Ω范圍），表面電阻率重復性±3%。校準采用國家標準電阻器（10^6/10^9/10^12/10^15Ω），年穩定性±0.5%。測試電壓紋波系數＜1%，電極系統電容補償精度±0.5pF。